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TEM過濾器GasPro TEM-160-24用于半導體行業(yè)

描述:TEM過濾器GasPro TEM-160-24用于半導體行業(yè)
GasPro?TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24
GasPro?TEM-100系列濾光片的設(shè)計波長為3 nm顆粒截留率高達300 scfm,以及溫度敢達80C(176°F)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)帶著

更新時間:2023-08-24
產(chǎn)品型號:TEM-100系列
廠商性質(zhì):經(jīng)銷商
訪問次數(shù):1337
詳情介紹
品牌其他品牌絲網(wǎng)型式其他
應(yīng)用領(lǐng)域環(huán)保,電子,冶金,電氣,綜合

TEM過濾器GasPro  TEM-160-24用于半導體行業(yè)

GasPro TEM-100系列

電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和腐蝕粒子在內(nèi)表面上堆積。

包裝外清潔度我們的加斯普羅? 清潔TEM-100過濾器,并在無塵室內(nèi)包裝,不含有機成分處理包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。終組件被清除用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。

多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。

氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進行測試。

零件號、入口/出口配件、過濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯

氟橡膠密封件*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0”)

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25”)

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0”)

GasPro 過濾器TEM-150-24技術(shù)規(guī)格

GasPro?TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24

GasPro?TEM-100系列濾光片的設(shè)計波長為3 nm顆粒截留率高達300 scfm,以及溫度敢達80C(176°F)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)帶著

聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼,具有的流動性和穩(wěn)定性耐化學性。使用標準Viton o形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。TEM過濾器GasPro  TEM-160-24用于半導體行業(yè)

應(yīng)用

?一般和工藝惰性氣體設(shè)施半導體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。

?用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括襯底退火。

?關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣,包括:前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和安裝光刻。

規(guī)格

?過濾等級我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。

?高工作溫度*80攝氏度(176華氏度)。

建議更換:在69C(156°F))以上運行6個月。

?大工作壓力在20°C(68°F)條件下為17.2bar(250 psig)。

?大正向流量壓差

20?C(68?F):6.0bar(87磅/平方英寸)

80?C(176?F):4.0bar磅/平方英寸)

 

 

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