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美國TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點

 更新時間:2022-06-27 點擊量:1131

美國TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點

GasPro™ TEM-200系列濾波器設計用于3 nm顆粒截留率高達200 scfm,且溫度高達80?C(176F)。ePTFE膜(1.36 m2/14.6平方英尺)使用聚丙烯支撐結構封閉在

316L不銹鋼外殼,具有的流動性和耐化學性。使用標準Vitono形圈(其他o形圈材料可在重新測試時獲得)。

TEM-250-24過濾器應用

•一般和工藝惰性設施氣體。

•關鍵工藝的清潔干燥空氣(CDA*),包括

前開口統一吊艙(FOUP)清潔和光刻。

TEM-250-24過濾器規(guī)格

•過濾等級

我們的多孔ePTFE過濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。

•高工作溫度*80°C(176°F)。

建議更換:在69oC(156oF)以上運行6個月。

•大工作壓力20°C(68°F)時為17.2 bar(250 psig)。

•大正向流量壓差20oC(68oF):6.0 bar(87 psi)

80oC(176oF):4.0 bar(58 psi)

TEM-250-24過濾器功能和優(yōu)點

•電拋光外殼

過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內表面上積聚。

•包裝外清潔度

我們的GasPro™ 清潔TEM-200過濾器,并包裝在無塵室內,不含有機物包裝外、無顆粒和無化學品清潔度。終組裝已清除使用過濾氮氣進行初始清潔。附加的預處理是可選的。

•多種配件選項,便于安裝標準配件選項包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據要求提供。

•氦泄漏測試

所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進行測試。

美國TEM-311-24過濾器參數:

我們的多孔ePTFE過濾器提供有效的顆粒滯留3 nm。 

高工作溫度* 80°C(176°F)。 建議更換:在69C(156F)以上工作6個月。 

大工作壓力17.2 bar (250 psig) @ 20°C(68°F)。 

大正向差壓20C(68F): 6.0 bar (87 psi) 80?C(176F): 4.0 bar (58 psi)  

一般和工藝惰性設施氣體,用于半導體,脂肪板顯示和其他高純度應用。 G酶用于關鍵的脂肪板工藝,包括襯底退火。 對于關鍵工藝,包括前開口統一吊艙(FOUP)清洗和光刻,采用稀薄干燥的空氣。  

TEM-200零件號和訂購信息

零件號入口/出口配件過濾介質/外殼其他材料長度(L)

TEM-215-16 1.0“陽墊圈密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼聚丙烯

氟橡膠®密封*658.4毫米(25.92英寸)

TEM-228-16 1.0“內螺紋NPT入口/出口640.1 mm(25.2")

TEM-250-24 1.5“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-250-32 2.0“短管入口/出口637.5 mm(25.1")

TEM-260-DN50法蘭(詳見圖紙)643.1 mm(25.32")


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