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GasPro™過(guò)濾器TEM-150-24短管入口/出口技術(shù)規(guī)格

 更新時(shí)間:2022-08-15 點(diǎn)擊量:1101

GasPro™過(guò)濾器TEM-150-24短管入口/出口技術(shù)規(guī)格

GasPro™TEM-100系列

•電拋光外殼過(guò)濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和腐蝕粒子在內(nèi)表面上堆積。

•包裝外清潔度我們的加斯普羅™ 清潔TEM-100過(guò)濾器,并在無(wú)塵室內(nèi)包裝,不含有機(jī)成分處理包裝外、無(wú)顆粒和無(wú)化學(xué)品清潔度。終組件被清除用過(guò)濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。

•多種配件選項(xiàng),便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封,壓縮、對(duì)焊和NPT。特殊配件,包括三夾(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。

•氦泄漏測(cè)試所有裝置均以1x10-9 atm cc/秒的速度進(jìn)行測(cè)試。

零件號(hào)、入口/出口配件、過(guò)濾介質(zhì)/外殼、其他材料、長(zhǎng)度(L)

TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口

PTFE/316L不銹鋼鋼聚丙烯

氟橡膠®密封件*899.9毫米(35.43英寸)

TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0")

TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")

TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0")

GasPro™TEM-100在線高流量ePTFE濾器TEM-128-24

GasPro™TEM-100系列濾光片的設(shè)計(jì)波長(zhǎng)為3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm,以及溫度敢達(dá)80oC(176oF)。ePTFE膜(2.04m2/22.0平方英尺)帶著

聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在不銹鋼316L外殼,具有的流動(dòng)性和穩(wěn)定性耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton®o形圈(其他o形圈材料可在重新測(cè)試時(shí)獲得)。

應(yīng)用

•一般和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器和其他高純度應(yīng)用。

•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括襯底退火。

•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣,包括:前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和安裝光刻。

規(guī)格

•過(guò)濾等級(jí)我們的多孔ePTFE濾光片可提供有效的3納米濾光片顆粒保留。

•高工作溫度*80攝氏度(176華氏度)。

建議更換:在69oC(156oF)以上運(yùn)行6個(gè)月。

•大工作壓力在20°C(68°F)條件下為17.2bar(250 psig)。

•大正向流量壓差

20oC(68oF):6.0bar(87磅/平方英寸)

80oC(176oF):4.0bar磅/平方英寸)


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