美國GasPro過濾器TEM-150-241.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")
GasPro過濾器 TEM波濾器現(xiàn)貨 TEM濾芯現(xiàn)貨 TEM過濾器* GasPro濾芯
TEM-100功能和優(yōu)點(diǎn)
•電拋光外殼過濾器組件具有15Ra電拋光316L不銹鋼外殼,防止腐蝕和粒子在內(nèi)表面上積聚。
•包裝外清潔度
我們的GasPro™ 清潔TEM-100過濾器,并包裝在無塵室內(nèi),不含有機(jī)物包裝外、無顆粒和無化學(xué)品清潔度。終組裝已清除使用過濾氮?dú)膺M(jìn)行初始清潔。附加的預(yù)處理是可選的。
•多種配件選項(xiàng),便于安裝標(biāo)準(zhǔn)配件選項(xiàng)包括端面/墊片密封,壓縮、對焊和NPT。特殊配件,包括三夾鉗(三葉草)衛(wèi)生和法蘭類型,可根據(jù)要求提供。
•氦泄漏測試所有裝置均以1x10-9 atm cc/s的速度進(jìn)行測試。
TEM-115-16 1.0“端面密封入口/出口
PTFE/316L不銹鋼
鋼聚丙烯
氟橡膠®密封*899.9毫米(35.43英寸)
TEM-128-24 1.5“FNPT入口/出口864 mm(34.0")
TEM-150-24 1.5“短管入口/出口946.2 mm(37.25")
TEM-160-24 1.5“三夾端889 mm(35.0")
TEM-100高流量ePTFE串聯(lián)濾器產(chǎn)品介紹
TEM-100高流量ePTFE串聯(lián)濾器
GasPro TEM-100系列濾波器設(shè)計用于3 nm顆粒截留率高達(dá)300 scfm,且溫度高達(dá)80C(176 F)。ePTFE膜(2.04 m2/22.0平方英尺)使用聚丙烯支撐結(jié)構(gòu)封閉在316L不銹鋼外殼,具有的流動性和耐化學(xué)性。使用標(biāo)準(zhǔn)Viton O形圈(其他O形圈材料可在重新測試時獲得)。
TEM-100過濾器應(yīng)用程序
•通用和工藝惰性氣體設(shè)施半導(dǎo)體、平板顯示器等高純度產(chǎn)品應(yīng)用程序。
•用于關(guān)鍵平板工藝的氣體,包括基板退火。
•關(guān)鍵工藝的清潔干燥空氣,包括前開口統(tǒng)一吊艙(FOUP)清潔和光刻
TEM-100規(guī)格說明
•過濾等級我們的多孔ePTFE過濾器可提供有效的3 nm顆粒保留。
•高工作溫度*80°C(176°F)。
建議更換:在69oC(156oF)以上運(yùn)行6個月。
•大工作壓力20°C(68°F)時為17.2 bar(250 psig)。
•大正向流量壓差20oC(68oF):6.0bar(87 psi)
80oC(176oF):4.0bar(58 psi)